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溅射离子泵 型式与基本参数
基本信息
标准号：JB/T 4081-1991
发布时间：1991-07-22
实施时间：1992-07-01
首发日期：
出版单位：机械工业出版社查看详情>
起草人：冯玉国
作废日期：2012-04-01
出版机构：机械工业出版社
标准分类： 真空技术与设备
提出单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：机械电子工业部沈阳真空技术研究所
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
发布部门：国家机械工业局
标准简介
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射离子泵。
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