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高纯三氧化二镓杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法现行

Determination of impurities of high purity gallium oxide—Inductively coupled plasma-mass spectrmetry

标准号：YS/T 980-2014

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基本信息

标准号：YS/T 980-2014

发布时间：2014-10-14

实施时间：2015-04-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：刘爱华、孙平、种娜、郑孝桃、杨海燕、朱赞芳、陈劼、刘心君

出版机构：中国标准出版社

标准分类：半金属及半导体材料分析方法

ICS分类：金属材料化学分析

起草单位：峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

主管部门：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

标准简介

本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为1×10-6%～4×10-5%。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司。
本标准主要起草人:刘爱华、孙平、种娜、郑孝桃、杨海燕、朱赞芳、陈劼、刘心君。

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高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行