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蓝宝石单晶抛光衬底片已废止

Polished monocrystalline sapphire substrates

标准号：GB/T 13843-1992

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基本信息

标准号：GB/T 13843-1992

发布时间：1992-01-02

实施时间：1993-08-01

首发日期：1992-12-28

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2017-12-15

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子技术专用材料

ICS分类： 29.040.30

起草单位：天津半导体技术研究所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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