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硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法已作废

Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

标准号：GB/T 1554-1995

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基本信息

标准号：GB/T 1554-1995

发布时间：1995-04-18

实施时间：1995-12-01

首发日期：1979-05-26

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2010-06-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：金属无损检验方法

ICS分类：金属材料化学分析

起草单位：峨嵋半导体材料厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。

替代情况

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引用标准

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