俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则 现行
Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
标准号：GB/T 31470-2015
基本信息
标准号：GB/T 31470-2015
发布时间：2015-05-15
实施时间：2016-01-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 综合测试系统
ICS分类：电和磁量值的测量
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的 X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的 X射线光电子能谱:入射 X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域;光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间;装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。
标准摘要
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。 本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。 |
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