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扫描电子显微镜 试验方法
基本信息
标准号：JB/T 6842-1993
发布时间：1993-07-09
实施时间：1994-01-01
首发日期：
出版单位：机械工业出版社查看详情>
起草人：
出版机构：机械工业出版社
标准分类： 电子光学与其他物理光学仪器
提出单位：上海电子光学技术研究所
起草单位：上海电子光学技术研究所
归口单位：上海电子光学技术研究所
发布部门：中华人民共和国机械工业部
标准简介
本标准规定了扫描电子显微镜的试验方法。本标准适用于扫描电镜主机性能的试验。
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