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蒸发镀膜设备基本参数系列修订

Basic parameter series of evaporation plating equipment

标准号：SJ/T 11131-1997

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基本信息

标准号：SJ/T 11131-1997

发布时间：1997-09-03

实施时间：1998-01-01

首发日期：

出版单位：电子工业部标准化研究查看详情>

起草人：陈华先、谭丽、康开丽

出版机构：电子工业部标准化研究

标准分类：技术管理

ICS分类：电子元件综合

起草单位：成都南光实业股份有限公司

归口单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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