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溅射用钽靶材 现行

Tantalum sputtering targets

标准号:YS/T 1024-2015

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基本信息

标准号:YS/T 1024-2015
发布时间:2015-04-30
实施时间:2015-10-01
首发日期:
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:钟景明、李桂鹏、汪凯、李兆博、姚力军、熊晓东、王莉、宿康宁、王小青、杜铁路
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 稀有高熔点金属及其化合物
ICS分类:其他有色金属产品
提出单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位:宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
主管部门:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

标准简介

本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司。
本标准主要起草人:钟景明、李桂鹏、汪凯、李兆博、姚力军、熊晓东、王莉、宿康宁、王小青、杜铁路。

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