当前位置： 首页 > 电子工业用气体氨

电子工业用气体氨现行

Gas for electronic industry—Ammonia

标准号：GB/T 14601-2009

获取原文如何获取原文？问客服获取原文，即可享受本标准状态变更提醒服务！

基本信息

标准号：GB/T 14601-2009

发布时间：2009-10-30

实施时间：2010-05-01

首发日期：1993-08-26

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

标准简介

本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。

标准摘要

本标准代替GB/T14601-1993《电子工业用气体氨》。
本标准与GB/T14601-1993相比主要变化如下:
---修改标准的名称;
---修改适用范围(GB/T14601-1993的第1章,本版的第1章);
---修改规范性引用文件(GB/T14601-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技术指标内容(GB/T14601-1993的第3章,本版的第3章);
---增加对氨尾气处理的要求(见4.3);
---删去按GB5831规定的方法测定氧含量(GB/T14601-1993的4.2.1);
---修改氧、氮、一氧化碳含量的测定(GB/T14601-1993的4.2、4.3、4.4,本版的4.4);
---增加氢、氩含量的测定(见4.4);
---增加二氧化碳含量的测定(见4.4);
---修改烃含量的测定(GB/T14601-1993的4.5,本版的4.4);
---修改水含量的测定方法(GB/T14601-1993的4.6,本版的4.5);
---增加金属离子的测定方法(见4.6);
---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14601-1993的第6章、第7章,本版的第5章);
---增加规范性附录A,并把采用氦放电离子化气相色谱法测定氨中的氢、氧(氩)、氮、一氧化碳、
二氧化碳和烃(C1~C3)含量组分的方法写入该附录(见附录A)。
本标准的附录A 为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会归口。
本标准起草单位:大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T14601-1993。

替代情况

会员注册/登录后查看详情

引用标准

会员注册/登录后查看详情

本标准相关公告

会员注册/登录后查看详情

采标情况

会员注册/登录后查看详情

推荐检测机构

申请入驻

暂未检测到相关机构，邀您申请入驻~

推荐认证机构

申请入驻

暂未检测到相关机构，邀您申请入驻~

推荐培训机构

申请入驻

暂未检测到相关机构，邀您申请入驻~

电子工业用气体 氨 现行

申请获取原文权限

电子工业用气体氨现行