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电子工业用气体三氯化硼已作废

Gases for electronic industry--Boron trichloride

标准号：GB/T 17874-1999

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基本信息

标准号：GB/T 17874-1999

发布时间：1999-09-01

实施时间：2000-06-01

首发日期：1999-09-16

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2011-05-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

起草单位：光明化工研究设计院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家质量技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

替代情况

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