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表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 现行

Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials

标准号:GB/T 20175-2006

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基本信息

标准号:GB/T 20175-2006
发布时间:2006-03-27
实施时间:2006-11-01
首发日期:2006-03-27
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:查良镇、陈旭、王光普、黄雁华、黄天斌、刘林、葛欣、桂东
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 电子光学与其他物理光学仪器
ICS分类:化学分析
提出单位:全国微束分析标准化技术委员会
起草单位:清华大学电子工程系
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
发布部门:国家标准化管理委员会
主管部门:国家标准化管理委员会

标准简介

本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。

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