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离子注入机通用技术条件已作废

Generic specification for ion implantation equipment

标准号：GB/T 15862-1995

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基本信息

标准号：GB/T 15862-1995

发布时间：1995-01-02

实施时间：1996-08-01

首发日期：1995-12-22

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2013-02-15

出版机构：中国标准出版社

标准分类：加工专用设备

ICS分类：集成电路、微电子学

起草单位：电子工业部第四十八研究所

归口单位：信息产业部（电子）

发布部门：国家技术监督局

主管部门：信息产业部（电子）

标准简介

本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。

替代情况

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