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电子工业用气体三氟甲烷现行

Gas for electronic industry—Trifluoromethane

标准号：GB/T 34085-2017

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基本信息

标准号：GB/T 34085-2017

发布时间：2017-07-31

实施时间：2017-11-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：陈熔、林宇巍、傅铸红、杜汉盛、叶红艳、牛艳东、史婉君、孙福楠、曲庆、方华、王鸿、崔学文、周朋云

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、广东华特气体股份有限公司、浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司等

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

替代情况

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