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吸气剂金属释放特性测试方法现行

Test methods for metal releasing characteristics of getters

标准号：GB/T 25495-2010

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基本信息

标准号：GB/T 25495-2010

发布时间：2010-12-01

实施时间：2011-05-01

首发日期：1986-07-25

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子技术专用材料

ICS分类： 31.030

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

标准简介

本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法,如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。

标准摘要

本标准是将以下标准整合后进行修订的:
———GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂释汞特性的测试方法》;
———GB/T9506.6—1988《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》;
———GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》。
本标准与原标准相比主要变化如下:
———取消释汞吸气剂释汞特性的测试方法中的名词术语,在规范性引用文件中新增GB/T4314《吸气剂术语》;
———将GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂释汞特性的测试方法》与GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》中的测试系统、方法合并;
———取消试验设备中的无脂球阀;
———将试验中测试室的尺寸按使用用途分类改为按金属释放量分类;
———将释汞量、得钡量加热完后称重时间由15min更改为5min内;
———释汞特性曲线的测试由400℃开始提高到500℃开始;
———取消平均值、标准偏差的计算方法;
———取消得钡量一致性测试;
———取消测试报告格式;
———将GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》中的蒸散曲线绘制方法中的起蒸时间的控制表述进行修订;
———根据GB/T1.1—2000的要求进行格式修订。
本标准代替下列标准:
———GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂释汞特性的测试方法》;
———GB/T9506.6—1988《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》;
———GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。
本标准起草单位:南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所。
本标准主要起草人:薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T6626.1—1986;
———GB/T9506.6—1988;
———GB/T9506.2—1988。

替代情况

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引用标准

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本标准相关公告

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采标情况

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