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电子工业用气体高纯氯已作废

Gases for electronic industry—High purity chlorine

标准号：GB/T 18994-2003

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基本信息

标准号：GB/T 18994-2003

发布时间：2003-03-05

实施时间：2003-08-01

首发日期：2003-03-05

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：孔祥芝、佘中玉

作废日期：2015-07-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：原化学工业部

起草单位：光明化工研究设计院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。

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