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光掩模对准标记规范现行

Specification for registration marks for photomasks

标准号：GB/T 16524-1996

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基本信息

标准号：GB/T 16524-1996

发布时间：1996-09-09

实施时间：1997-05-01

首发日期：1996-09-09

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子工业生产设备综合

ICS分类：集成电路、微电子学

起草单位：中国科学院微电子中心

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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