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微机电系统（MEMS）技术　微机械量评定总则现行

Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

标准号：GB/T 26112-2010

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基本信息

标准号：GB/T 26112-2010

发布时间：2011-01-10

实施时间：2011-10-01

首发日期：2011-01-10

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥

出版机构：中国标准出版社

标准分类：微电路综合

ICS分类：集成电路、微电子学

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

起草单位：天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

标准简介

本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准起草单位:天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院。
本标准主要起草人:胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥。

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