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气体质量流量控制器通用技术条件已作废

General specification for gas mass flow controller

标准号：SJ/T 10583-1994

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基本信息

标准号：SJ/T 10583-1994

发布时间：1994-08-08

实施时间：1994-12-01

首发日期：

起草人：龚光祥、刘学俭、钱祖权

作废日期：2016-09-01

标准分类：检验装用设备

提出单位：中华人民共和国电子工业部

起草单位：北京建中机器厂

归口单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器（以下简称控制器）。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。

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