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电子级水中微粒的仪器测试方法已作废

Test method for particles in electronic grade water by instrument

标准号：GB/T 11446.9-1997

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基本信息

标准号：GB/T 11446.9-1997

发布时间：1997-09-01

实施时间：1998-09-01

首发日期：1989-06-22

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2014-08-15

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子技术专用材料

ICS分类： 31.030

起草单位：中国科学院半导体研究所

归口单位：信息产业部（电子）

发布部门：国家技术监督局

主管部门：信息产业部（电子）

标准简介

本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径大于或等于0.5μm，微粒的浓度为(0～10 000)个/mL。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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