光掩模石英玻璃基板 现行
Silica glass substrates for photomask
标准号：GB/T 34178-2017
基本信息
标准号：GB/T 34178-2017
发布时间：2017-09-07
实施时间：2018-08-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 石英玻璃
ICS分类：玻璃产品
提出单位：中国建筑材料联合会
起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：中国建筑材料联合会
标准简介
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
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