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砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法现行

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

标准号：GB/T 8758-2006

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基本信息

标准号：GB/T 8758-2006

发布时间：2006-07-18

实施时间：2006-11-01

首发日期：1988-02-25

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：王彤涵

出版机构：中国标准出版社

标准分类：金属物理性能试验方法

ICS分类：金属材料化学分析

提出单位：中国有色金属工业协会

起草单位：北京有色金属研究总院

归口单位：中国有色金属工业协会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：中国有色金属工业协会

标准简介

本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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