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微束分析扫描电子显微术术语现行

Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary

标准号：GB/T 23414-2009

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基本信息

标准号：GB/T 23414-2009

发布时间：2009-04-01

实施时间：2009-12-01

首发日期：2009-04-01

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：李香庭、曾毅

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子光学与其他物理光学仪器

ICS分类： 01.040.37:37.020

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会

起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布部门：国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO23833中定义的术语。本标准适用于所有有关SEM 实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。

标准摘要

本标准等同采用国际标准ISO22493:2008《微束分析扫描电子显微术术语》(英文版)。
为了便于使用,本标准做了下列编辑性修改:
---本国际标准一词改为本标准;
---删除国际标准的前言。
---扫描电子显微镜简称扫描电镜。
---增加了中文索引。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院上海硅酸盐研究所。
本标准主要起草人:李香庭、曾毅。

标准目录

前言Ⅰ
引言Ⅱ
1 范围1
2 缩略语1
3 SEM 物理基础术语1
4 SEM 仪器术语5
5 SEM 成像和图像处理术语10
6 SEM 图像诠释和分析术语14
7 SEM 图像放大倍率和分辨率校正及测量术语16
参考文献18
中文索引19
英文索引22

替代情况

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引用标准

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采标情况

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