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电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法已作废

Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer

标准号：GB/T 11446.6-1997

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基本信息

标准号：GB/T 11446.6-1997

发布时间：1997-09-01

实施时间：1998-09-01

首发日期：1989-06-22

起草人：

作废日期：2014-08-15

标准分类：电子技术专用材料

ICS分类： 31.030

起草单位：北京半导体器件三厂

归口单位：信息产业部（电子）

发布部门：信息产业部（电子）

主管部门：信息产业部（电子）

标准简介

本标准规定了电子级水是二氧化硅的分光光度测定方法。本标准适用于电子级水中二氧化硅的测定，分析下限为1μg/L。

替代情况

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引用标准

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本标准相关公告

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采标情况

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