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硅片边缘轮郭检验方法已作废

标准号：YS/T 26-1992

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基本信息

标准号：YS/T 26-1992

发布时间：1992-03-09

实施时间：1993-01-01

首发日期：

起草人：王从赞、夏光勤

作废日期：2017-01-01

标准分类：半金属

ICS分类：半导体材料

提出单位：中国有色金属工业总公司标准计量研究所

起草单位：洛阳单晶硅厂

发布部门：中国有色金属工业总公司

标准简介

本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓.

替代情况

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采标情况

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