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电子工业用气体磷化氢现行

Gas for electronic industry—Phosphine

标准号：GB/T 14851-2009

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基本信息

标准号：GB/T 14851-2009

发布时间：2009-10-30

实施时间：2010-05-01

首发日期：1993-12-30

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：周泽义、孙福楠、周鹏云

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

标准摘要

本标准代替GB/T14851-1993《电子工业用气体磷化氢》。
本标准与GB/T14851-1993相比主要变化如下:
---修改规范性引用文件(GB/T14851-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技术指标内容(GB/T14851-1993的第3章,本版的第3章);
---增加电子工业用磷化氢采样安全要求(本版的4.1.2);
---增加尾气处理的要求(本版的4.3);
---修改砷化氢、氮、氧(氩)组分的分析方法(GB/T14851-1993的4.2、4.5、4.6,本版的4.3);
---删去氢的分析方法(GB/T14851-1993的4.4);
---修改二氧化碳、总烃含量的分析方法(GB/T14851-1993的4.3,本版的4.5、4.6);
---增加一氧化碳的分析方法(见4.5);
---增加标准样品的规定(见4.7);
---修改水分的分析方法(GB/T14851-1993的4.7,本版的4.8);
---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14851-1993的第6章、第7章,本版的第5章);
---删去GB/T14851-1993的附录A;
---增加规范性附录A,并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用磷化氢中的砷化氢、氮、氧(氩)组分的方法写入该附录(见附录A)。
本标准的附录A 为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院。
本标准主要起草人:周泽义、孙福楠、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T14851-1993。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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