化学气相沉积炉 现行
Chemical vapor deposition furnace
标准号：YS/T 1031-2015
基本信息
标准号：YS/T 1031-2015
发布时间：2015-04-30
实施时间：2015-10-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 炼焦、炼结设备
ICS分类：冶金设备
提出单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
主管部门：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
标准简介
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。本标准适用于化学气相沉积。
标准摘要
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位:湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。 本标准主要起草人:戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华。 |
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