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电子工业用气体三氟化氮
电子工业用气体三氟化氮 现行
Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride
标准号：GB/T 21287-2007
基本信息
标准号：GB/T 21287-2007
发布时间：2007-12-14
实施时间：2008-07-01
首发日期：2007-12-14
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 工业气体与化学气体
ICS分类：工业气体
提出单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1)
起草单位：湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所、核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院等
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。
标准摘要
|
本标准根据SEMI(半导体材料和设备国际组织)的《三氟化氮》(SEMIC3.39-0304)2004年版标准,并结合我国三氟化氮生产的实际情况制定。 本标准的附录C 为规范性附录,附录A、附录B、附录D 为资料性附录。 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1)提出并归口。 本标准由湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所负责起草。 本标准参加起草单位有:核工业理化研究院特气中心、中核红华特种气体有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院等。 本标准主要起草人:余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠。 本标准为首次发布。 |
标准目录
| 前言Ⅲ 1 范围1 2 规范性引用文件1 3 要求1 4 试验方法2 5 包装、标志、贮运及安全5 附录A(资料性附录) 切割气路流程示意图7 附录B(资料性附录) 测定三氟化氮中一氧化碳的气路切换装置流程示意图8 附录C(规范性附录) 可水解氟化物和总酸度的测定9 附录D(资料性附录) 三氟化氮的化学性质和物理参数12 |
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