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外延钉缺陷的检验方法
基本信息
标准号：YS/T 24-1992
发布时间：1992-03-09
实施时间：1993-01-01
首发日期：
起草人：施海青、金胜祖
作废日期：2016-09-01
标准分类： 半金属与半导体材料综合
ICS分类：半导体材料
提出单位：中国有色金属工业总公司标准计量研究所
起草单位：L海有色金属研究所
发布部门：中国有色金属工业总公司
标准简介
本标 准 规 定了外延钉缺陷的检验方法本标 准 适 用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比少且 彼此不相连，本标准可用十钉缺陷的汁数。本标 准 不 能测量钉缺陷的高度
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