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半导体设施接口技术文件编写导则现行

Directives for drafting semiconductor facilities interface specification

标准号：GB/T 15873-1995

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基本信息

标准号：GB/T 15873-1995

发布时间：1995-01-02

实施时间：1996-08-01

首发日期：1995-12-22

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

出版机构：中国标准出版社

标准分类：加工专用设备

ICS分类：插头和插座装置、连接器

起草单位：中国华晶电子集团公司

归口单位：信息产业部（电子）

发布部门：国家技术监督局

主管部门：信息产业部（电子）

标准简介

本标准规定了半导体设施接口技术文件编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。

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