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微束分析电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法现行

Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis

标准号：GB/T 20726-2015

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基本信息

标准号：GB/T 20726-2015

发布时间：2015-10-09

实施时间：2016-09-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：曾荣树、徐文东、毛骞、马玉光。

出版机构：中国标准出版社

标准分类：基础标准与通用方法

ICS分类：有关化学分析方法的其他标准

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

起草单位：中国科学院地质与地球物理研究所。

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

标准简介

本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪（EDS）特性最重要的性能参数。本标准仅适用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309和 ASTM E1508 中已有规范，不在本标准范围之内。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替GB/T20726—2006《半导体探测器X射线能谱仪通则》。
本标准与GB/T20726—2006相比,主要变化如下:
———中文名称修改为:微束分析电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法;
———增加了部分术语和定义(见3.2、3.2.1、3.2.2、3.3~3.5、3.12、3.13);
———修改了部分术语和定义(见3.8~3.11,2006年版2.4~2.7);
———删除了仪器本底的术语和定义(见2006年版2.8);
———增加了第五章:“其他性能参数的核查”(见第5章);
———增加有助于理解本标准的必要的参考文献(见参考文献)。
与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下:
———GB/T21636—2008 微束分析电子探针显微分析(EPMA) 术语(ISO23833:2006,IDT)。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准主要起草单位:中国科学院地质与地球物理研究所。
本标准主要起草人:曾荣树、徐文东、毛骞、马玉光。
本标准于2007年8月1日首次发布,本次为第一次修订。

替代情况

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采标情况

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