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玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法现行

Measurement of nanofilm thickness on glass substrate —Profilometric method

标准号：GB/T 33826-2017

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基本信息

标准号：GB/T 33826-2017

发布时间：2017-05-31

实施时间：2017-12-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：孟政、刘静、候英兰、徐勇、戴石锋、汪洪、梁慧超、张继军、张庆华、代铮、张卫星、赵晋武、郎岩梅

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业技术玻璃

ICS分类：有关化学分析方法的其他标准

提出单位：中国科学院

起草单位：中国建筑材料科学研究总院、漳州旗滨玻璃有限公司、宣城晶瑞新材料有限公司、冶金工业信息标准研究院

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC 279/SC 1)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC 279/SC 1)

标准简介

本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。?本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。

替代情况

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