工业高纯氢氟酸 现行
High purity hydrofluoric acid for industrial use
标准号：HG/T 4509-2013
基本信息
标准号：HG/T 4509-2013
发布时间：2013-10-17
实施时间：2014-03-01
首发日期：
出版单位：化工出版社查看详情>
起草人：
出版机构：化工出版社
标准分类： 无机酸、碱
ICS分类：酸
提出单位：全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员会
起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司 等
归口单位：田志扬 等
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
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